高質量薄膜材料的制備已經成為新型材料與器件研究不可少的部分。薄膜材料質量的好壞直接影響著研究結果和器件的最終性能。因此薄膜制備設備已成為新型材料和器件研究的重中之重。對于大多數薄膜材料，常用的制備手段有磁控濺射、熱蒸發、電子束蒸發、脈沖激光沉積等。這類在真空條件下采用物理方法將材料源（多數為固體）表面氣化成氣態原子或分子，或部分電離成離子，并通過低壓氣體（或等離子體）過程，在基片表面沉積具有某種特殊功能的薄膜稱為物理氣象沉積（PVD）。傳統設備中，一種設備只具備一種薄膜的制備手段，隨著研究的深入和器件的復雜化，往往一個樣品需要多種制備手段才能完成。樣品在不同設備中輪流進行加工制備增加了外界影響的可能性，對樣品的質量和可靠性有較大影響。因此，在一種設備中實現多種制備手段成為一種有效的解決方案。

英國Moorfield Nanotechnology公司生產的高精度薄膜制備與加工系統涵蓋了磁控/熱蒸發、磁控/電子束蒸發、有機物/金屬熱蒸發等多種制備手段。日前，QuantumDesign中國將一臺高質量磁控/電子束薄膜制備系統MiniLab-125安裝于復旦大學并順利驗收投入使用。該系統與其他設備進行真空互聯，實現了樣品的制備、表征全流程研究體系，成為了用戶對新型材料與器件研究的重要保障。

已安裝驗收并順利投入使用的磁控濺射/電子束蒸發薄膜制備系統MiniLab-125

Moorfield Nanotechnology是英國材料科學領域高性能儀器研發與制造公司，成立二十多年來專注于高質量的薄膜生長與加工技術，擁有雄厚的技術實力，推出的多種高性能設備受到科研與工業領域的廣泛好評。高精度薄膜制備與加工系統–MiniLab、臺式高性能多功能PVD薄膜制備系列—nanoPVD、臺式超精準二維材料等離子軟刻蝕系統—nanoETCH、臺式精準氣氛\壓力控制高溫退火系統—ANNEAL是經過多年技術積累與改進的旗艦系列產品。配置靈活、模塊化設計的系統，可滿足一種或多種薄膜制備功能，能夠滿足各種用戶的需求。產品推出以來已經交付于全球諸多高校和科研單位，并獲得用戶的好評。

高質量臺式熱蒸發系統T15A

高質量臺式磁控濺射系統S10A

高質量臺式磁控濺射&熱蒸發系統ST15A

高精度多功能薄膜制備系統-MiniLab系列