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NEWS INFORMATION磁隨機存儲器(Magnetic random access memory,MRAM)是種用讀取磁阻大小為原理的新型非易失性(Non-Volatile)隨機存儲器,與其他存儲技術相比,MRAM在速度、面積、寫入次數和功耗方面能夠達到較好的折中,被業界認為是構建下代非易失性緩存和主存的潛在存取器件之。因此,近些年來MRAM引起了不少科研機構和企業的關注,相應的測試設備需求也隨之增加,而Hprobe公司生產的IBEX-300晶圓超快三維磁場探針臺為個不錯的選擇。
IBEX-300晶圓超快三維磁場探針臺
與傳統的探針臺相比,IBEX-300是門用于晶圓片在磁場下的表征和測試的儀器。它基于三維磁場發生裝置來進行超快的磁阻測試,整個測試過程全自動完成,可以根據用戶的測試需要來自定義測試程序,為磁性器件(傳感器和存儲器)的開發、工藝和生產帶來了完整的測試解決方案。
主要應用方向:
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主要測試模式:
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三維磁場發生裝置
超快磁場掃描
三維磁場發生裝置可以實現各磁場空間軸的立驅動,也可以控制磁場在任意空間方向,以及產生旋轉磁場等。磁場的掃描采樣速率可由靜態磁場控制到幅值超過10,000步/秒。
測試程序界面
良率測試結果示意圖
目前Hprobe公司已經向多個半導體工廠交付了IBEX-300三維磁場探針臺,同時面向客戶開放部分樣品測試。