隨著半導體器件(jian)、量子器件(jian)和材(cai)料科學等域(yu)的(de)(de)(de)(de)蓬勃發展，器件(jian)的(de)(de)(de)(de)尺寸變得越來越小、結構越來越復雜，與(yu)之相應的(de)(de)(de)(de)微(wei)納尺度(du)(du)(du)下(xia)的(de)(de)(de)(de)加(jia)工精(jing)度(du)(du)(du)要求越來越高。聚焦離子束（FIB）系(xi)統已成為(wei)(wei)相關(guan)域(yu)的(de)(de)(de)(de)研究中(zhong)*的(de)(de)(de)(de)關(guan)鍵(jian)設(she)備。截止到目前，可商購的(de)(de)(de)(de)FIB系(xi)統大都使(shi)用(yong)液態金屬或惰性氣體作為(wei)(wei)離子源，但是(shi)采用(yong)上述(shu)離子源的(de)(de)(de)(de)FIB系(xi)統在加(jia)工精(jing)度(du)(du)(du)，加(jia)工速度(du)(du)(du)，維護難(nan)(nan)度(du)(du)(du)和使(shi)用(yong)費用(yong)等方面很難(nan)(nan)達(da)到令人(ren)滿意的(de)(de)(de)(de)平衡，因此兩者并(bing)非FIB系(xi)統的(de)(de)(de)(de)理想離子源選擇。

為了解決商用FIB系統中存在的上述問題，2020年，美國zeroK NanoTech公司運用曾獲諾貝爾獎的激光冷卻技術，推出了新代高精度低溫銫離子源FIB系統——FIB: ZERO。該系統采用低溫(wen)銫離(li)子源(yuan)（Cs+ LoTIS），在很大程度上減少了離子的隨機運動，使FIB：ZERO中的離子束斑與傳統離子源產生的束斑相比具有更高的亮度，更小的尺寸，和更低的能量散失。因此，可以獲得更清晰的成像、更高的加工精度和更少的樣品損傷。同時，也顯著降低了維護難度和使用成本。近日，Quantum Design中國正式引進新代高精度低溫銫離子源FIB系統，希望能夠幫助我國科學家在半導體器件、量子器件和材料科學等域有更深入的研究。

新品亮點

1. 更(geng)清晰的成像(xiang)效果，更(geng)大(da)的成像(xiang)景(jing)深

2. 更明顯(xian)的對比度

3.  更高(gao)的加(jia)工精度（相同時間）

4. 更好的加工均勻性(xing)（相同時(shi)間）

5. 對樣品小的損傷范(fan)圍(wei)

 Stopping and Range of Ions in Matter（SRIM）模擬不同離子源(yuan)產生的離子束在(zai)硅中的影響范圍

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