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PRODUCTS CNTER當前位置:首頁產品中心材料制備/樣品合成薄膜、顆粒、膠體等制備薄膜真空沉積系統
薄膜材料的真空、等離子制備、處理技術現已被廣泛應用于半導體、光電、太陽能等域的研發以及成產當中,這些技術包括:等離子體增強化學氣相沉積反應器(PECVD Reactors) 脈沖激光沉積系統(Pulsed Laser Deposition)磁控濺射系統(Sputter Deposition System)電子束沉積系統(E-beam Deposition System)
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薄膜材料的真空、等離子制備、處理技術現已被廣泛應用于半導體、光電、太陽能等域的研發以及成產當中,這些技術包括: 等離子體增強化學氣相沉積反應器(PECVD Reactors) 脈沖激光沉積系統(Pulsed Laser Deposition) 磁控濺射系統(Sputter Deposition System) 電子束沉積系統(E-beam Deposition Systems)
Quantum Design 引進多家真空等離子生產商設備,產品線涵蓋通用系統到定制設備,來滿足中國科研機構的不同需求,適合實驗室及工業使用。
等離子體增強化學氣相沉積系統 (PECVD)
資料下載 FLARION 系列:射頻等離子體增強化學氣相沉積系統,高開放性、可擴展定制 資料下載
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歡迎垂詢具體技術細節。
資料下載 FLOCON 系列:電腦控制氣體管理系統 (computer controlled gas management systems) 資料下載 此外,Plasmionique公司還可以定制:電子束沉積系統(E-beam Deposition Systems) 混合沉積系統(Hybrid Deposition Reactors) 等離子 離子注入系統 (Plasma Ion Implanter) 分子束外延系統 (MBE Systems) 等離子、反應離子、深反應離子蝕刻反應器(PE, RIE. DRIE Reactors)
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