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掃描電鏡原位AFM探測系統

產品簡介

奧地GETec公司發布的掃描電鏡原位AFM探測系統—AFSEM是款緊湊型,適用于真空環境的AFM產品,能夠輕松地結合兩種Z強大的分析技術—AFM和SEM為體,擴展SEM樣品成像和分析能力。AFSEM技術與SEM技術的*結合,使得人們對微觀和納米新探索新發現成為可能。

產品型號:
更新時間:2023-04-18
廠商性質:生產廠家
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掃描電鏡原位AFM探測系統

 

AFSEM™ —使AFMSEM合二為

 

奧地GETec公司發布的掃描電鏡原位AFM探測系統是款緊湊型,適用于真空環境的AFM產品,能夠輕松地結合兩種強大的分析技術—AFM和SEM為體,擴展SEM樣品成像和分析能力。AFSEM技術與SEM技術的*結合,使得人們對微觀和納米新探索新發現成為可能。

  

SEM結合AFM*解決方案:

* 掃描電子顯微鏡中進行AFM原位分析

* 使用SCL的自感懸臂技術的納米探針

* 無需激光和探測器,適用于任何樣品表面

* 與大多數SEM兼容而不妨礙正常的操作

* AFM和SEM協同并行分析

 

掃描電子顯微鏡中進行原位AFM分析

     AFSEM技術實現了AFM和SEM的功能性互補,讓SEM可以同時實現樣品的高分辨率成像,真實的三維形貌,高度,距離測量,甚至是材料的導電性能。做到這點只需要將AFSEM懸臂探針的位置移動到SEM下需要觀察的樣品位置進行探測。化的AFSEM工作流程(幾乎沒有減少SEM的掃描時間)確保了高的效率。提供的強大控制軟件則允許進行化和直觀的測量、系統處理和數據分析。
 

將AFSEM集成到個Zeiss Leo 982掃描電子顯微鏡中(左),對樣品表面進行掃描成像(右),對樣品表面進行掃描。當在AFM和SEM成像之間交替時,不需要轉移樣品或打破真空。使用AFSEM,切都可以進行內聯!

 

SEM-AFM 協同分析

 對于產品或材料分析,通常需要用多種技術分析個樣品或者同個器件,并尋找參數之間的相關性。如果樣品需要使用SEMAFM這兩種的成像技術,就意味著我們需要找到感興趣的區域并定位它,再拿到另個設備中尋找這個感興趣的區域,才能實現對同樣的區域進行分析。有什么能比直接把AFM放在SEM里面來的簡單呢?

對無支撐石墨烯和石墨烯相關材料進行掃描電鏡和AFM原位分析。在低電壓掃描電子顯微鏡下,我們可以對個懸空的石墨烯薄片的樣品進行成像,以確定層數和厚度(a)。然后,用AFM(b+c)實現更高的分辨率和更好的對比度。

掃描電鏡圖像(A)、放大的圖像(B)和相關的AFM成像(C),測量結果來自FEI Quanta 600 FEG ESEM

 

AFSEM可與大多數SEM兼容

AFSEM適用于大多數SEM或雙光束(SEM/FIB)系統。可以直接安裝在系統腔室的倉門上,同時樣品臺保持不變。此外,AFSEM采用種自感應懸臂探針,無需激光與傳感器。 AFSEM在電鏡中,夾持探針的懸臂梁只需要靴與樣品之間4.5毫米的空間。因此,AFSEM可以與各種標準的SEM兼容,GETec公司能夠處理任何兼容SEM系統真空腔內的安裝。也正是這種雅小巧的設計使得掃描電子顯微鏡能夠配合AFM技術實現的亞納米的形貌探測。

成功的AFSEM集成的例子(可參見集成SEM列表)

AFSEMSEM分析技術緊密配合

 由于AFSEM小巧的設計維護了SEM功能的完整性,可以實現與其他標準的掃描電鏡分析技術相結合同時使用,如常規FIB、FEBID和EDX,以及SEM中可搭配的拉伸機,應力測試,機械手等等

 

AFSEM應用案例舉例

AFSEM與Deben 200N 拉伸試驗臺可以同時集成在Philips XL40 SEM實現試樣拉伸形變過程的原位觀察和形貌探測。這是個創新的實驗解決方案,用來研究拉力作用下金屬試樣的拉伸形變和頸縮過程中,樣品表面形貌和粗糙度的變化。

此外AFSEM™和Hysitron PI85 硬度測試臺結合,同安裝在蔡司Leo 982 SEM中,電鏡下我們可以實時觀察金屬表面在硬度計壓頭*的壓力下,表面形變,滑移過程。其形變,滑移的形貌變化可以由AFM完成。

從AFM的角度來看,自感應懸臂探針可以實現多種探測模式,包括 靜態成像、動態成像、相對比、力譜、力調制和導電模式AFM。例如,在飛浦XL40儀器中,用掃描電鏡成像、EDX的化學分析、AFM的3D形貌和電導分析。

AFSEM采用的自感應探針(self-sensing cantilevers)

奧地SCL-Sensor.Tech公司主要生產硅基壓阻式自感應探針,避免了常規AFM需要光路進行探測的模式,拓寬AFM在納米探測、力測量和其他場合的應用。

自檢測懸臂配備全壓阻電橋直接測量懸臂信號電,從而消除常規原子力顯微鏡光學信號探測對儀器空間的要求。兩個可變電阻分別位于微懸臂和芯片上。整個結構連接到個小的PCB板上,可實現快速和高重復性的探針交換。感應到的信號通過個前置放大電路讀出和放大。這使得與各種儀器,如SEM,TEM和許多其他測量系統,可以輕松無縫地集成。自感應探針具有各種諧振頻率和彈簧常數。

我們可為您提供PRS(壓阻傳感)懸臂探針和PRSA(壓阻傳感與主動)懸臂探針。

Self-Sensing Cantilevers with Silicon Tip

Self-Sensing Cantilever without Tip  (Tipless)

Self-Sensing Cantilevers with SCD Tip

Silicon tip radius: <15nm
Cantilever length: 70-300 µm
Frequencies: 30-1300 kHz
Stiffness: 1-400 N/m
Applications: AFM,nanoprobing,force measurement, ...
Tip: tipless
Cantilever length : 100-450 µm
Frequency: 14-550 kHz
Stiffness: 0.5-170 N/m
Applications: torque magnetometry (e.g. in a PPMS), gas/media properties, force measurement, experimental tip mounting,...
SCD-tip radius: <10 nm
Cantilever length: 100-450 µm
Frequency: 14-550 kHz
Stiffness: 0.5-170 N/m
Applications: AFM, nanoindentation, ...

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