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當前位置:首頁產品中心低溫物理設備探針臺CRX-6.5K無液氦低溫探針臺

CRX-6.5K無液氦低溫探針臺

產品簡介

CRX-6.5K兼顧了無液氦操作的便利性和Lake Shore產品的可靠性,為用戶提供了一種低成本、通用的解決方案。

產品型號:
更新時間:2023-04-18
廠商性質:生產廠家
訪問量:557
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CRX-6.5K兼顧了無液氦操作的便利性和Lake Shore產品的可靠性,為用戶提供了一種低成本、通用的解決方案。它使用獨立的閉循環制冷機,開機后可在無人協助的情況下冷卻至低溫。它的多功能性和經濟性使CRX-6.5K成為世界各地許多研究人員的首丶選工具。

 

I-V、C-V和微波測量在CRX-6.5K上是標準的。雙級閉循環制冷機允許樣品在冷卻過程中保持在較高溫度,降低了樣品冷凝的可能性,這是測量有機材料的關鍵要求。

 

CRX-6.5K可在8 K至350 K的溫度范圍內工作,并可選擇擴展20 K至675 K的高溫范圍。該系統可容納直徑高達51 mm(2 in)的完整晶圓片和部分晶圓片。探針、測試電纜、樣品座和選件的廣泛選擇使其能夠滿足多種特定的測量應用。


設備參數:


溫度范圍
安裝2個探針臂基礎溫度8 K,控制范圍8.5 K ~   350 K
安裝4個探針臂基礎溫度9 K,控制范圍9.5 K   ~   350 K
安裝6個探針臂基礎溫度10 K,控制范圍10.5 K ~   350 K
安裝PS-HTSTAGE選件(與樣品背面偏壓不兼容)基礎溫度20 K,控制范圍20 K   ~   675 K
溫度穩定性
基礎溫度 (無加熱控制)未說明
<10 K±25 mK
11 K ~ 350 K±10 mK
351 K ~ 675 K±50 mK
真空
室溫<5×10-4 Torr
基礎溫度<1×10-5 Torr
最高溫度<5×10-5 Torr
循環時間
總循環6.25 h
抽真空0.5 h
探針臺冷卻3.5 h
探針臺升溫2.25 h
樣品
最大尺寸51 mm(2英寸)
樣品背光接口不可選
樣品旋轉不可選
樣品振動<2 μm
探針配置
最大探針數6
探針臂溫度計用于監視探針臂的溫度
冷卻探針支架<20 K(樣品在基礎溫度下)
探針支架連接樣品臺熱沉
探針臂支架連接防輻射屏熱沉
DC/RF探針電絕緣>100GΩ用于低漏電流測量
微波探針頻率范圍從DC到67GHz
光纖探針可用于電光測量
落針范圍所有探針均可在直徑為25.4 毫米(1 英寸)的圓內落針



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