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當前位置:首頁產品中心低溫物理設備探針臺FWPX四英寸低溫探針臺

FWPX四英寸低溫探針臺

產品簡介

Lake Shore 的FWPX探針臺專為需要大尺寸晶圓探測的研究人員設計,它可以容納直徑高達102 mm(4英寸)的晶圓片,并可定制容納更大尺寸至152 mm(6英寸)的晶圓。

產品型號:
更新時間:2023-04-18
廠商性質:生產廠家
訪問量:390
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Lake Shore 的FWPX探針臺專為需要大尺寸晶圓探測的研究人員設計,它可以容納直徑高達102 mm(4英寸)的晶圓片,并可定制容納更大尺寸至152 mm(6英寸)的晶圓。這款通用的探針臺主要是為研究者和工程師們做大樣品的材料特性表征而設計,同樣可以有效的測量有機材料。

 

FWPX探針臺采用了連續流制冷系統,使用液氦或液氮來冷卻晶圓片或樣品。它的標準工作范圍為4.5K~475K,使用低溫選件可將基礎低溫擴展至3.5K。


FWPX探針臺可進行I-V,C-V 和微波等標準測量。


FWPX探針臺最多同時安裝6個帶有熱沉的微型操縱探針臂,經過優化設計后可用于電光測試。


主要特征:

 

√  溫度范圍4.5 K~475 K

√  可選低溫3.5 K

√  樣品快速測量

√  標準4英寸(102 mm)樣品,6英寸(152 mm)可定制

√  樣品可面內±5°旋轉

√  樣品振動<30 nm


設備參數:


溫度范圍
最多安裝6個探針臂基礎溫度4.5 K,控制范圍5 K ~ 475 K
安裝PS-LT低溫選件基礎溫度3.5 K,控制范圍4 K ~ 475 K
溫度穩定性液氦液氮
基礎溫度 (無加熱控制)±20 mK±20 mK
<10 K±50 mK —
10 K ~ 100 K±20 mK±50 mK
101 K ~ 250 K±20 mK±50 mK
251 K ~ 350 K±20 mK±100 mK
351 K ~ 675 K±50 mK±100 mK
真空以TPS-FRG分子泵組為標準
抽真空時間30 min (<1 × 10-3 Torr)
室溫下<5 × 10-4 Torr
基礎溫度下<1 × 10-5 Torr
最高溫度下<5 × 10-3 Torr
循環時間
總循環3.5 h
抽真空0.5 h
探針臺冷卻1.5 h
探針臺升溫1.5 h
樣品
最大尺寸102 mm(4英寸)標準
樣品背光接口不可選
樣品旋轉±5°面內旋轉
樣品平移在x軸和y軸上平移,用于整個102 mm的晶圓片探測
樣品振動<30 nm標準
探針配置
最大探針數6
探針臂溫度計用于監視探針臂的溫度
冷卻探針支架<30 K(樣品在基礎溫度下)
探針支架連接樣品臺熱沉
探針臂支架連接防輻射屏熱沉
DC/RF探針電絕緣>100GΩ用于低漏電流測量
微波探針頻率范圍從DC到67GHz
光纖探針可用于電光測量
落針范圍所有探針均可在直徑為51毫米(2 英寸)的圓內落針



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