x射線近邊吸收譜X射線透過樣品后，其強度發生衰減且衰減程度與樣品的結構、組成密切有關。這種研究透射強度I與入射X射線強度Io之間的關系，稱為X射線吸收光譜；由于其透射光強與原子序數、原子質量有關，對于對固體（晶體或非晶）、液體、氣體等各類樣品都可以進行相關測試元素的定性，定量分析。

　　由于x射線近邊吸收譜來源于高能光子被吸收原子周圍的配位原子做單散射與出射波干涉形成，所以其x射線近邊吸收譜與周圍原子的存在形式有關，且相關影響如下：

　　1.周圍原子與吸收X光子的原子之間的距離。

　　距離不同，反射波與初始波的位相差不同，且此位相差與間距和波長的乘積成正比，所以以波矢為自變量的x射線近邊吸收譜振蕩頻率就與此間距離成正比。

　　2.周圍原子的個數。

　　個數不同，反射波的強度不同，造成x射線近邊吸收譜振蕩幅度不同。

　　3.周圍原子的種類。

　　種類不同，在此原子上反射波的相移和強度就不同，使x射線近邊吸收譜振蕩的幅度和頻率都發生微小的變化。

　　由于x射線近邊吸收譜與上述因素有關，通過EXAFS譜的分析可以得到物質中某原子周圍的原子配位情況，包括：配位距離、配位數及配位原子種類。