報告簡介：

半導體器件，尤其是高密度的集成電路，常見的污染莫過于微粒和有機化學品污染。該類污染物常落于器件的關鍵部位并毀壞器件的功能成為致命缺陷。目前微粒的量度尺寸已經降到亞微米，這種亞微米的小尺寸污染檢測與鑒別尚未有高效準確的表征手段。有機化學品污染以多種形式存在，如人的皮膚油脂，凈化室空氣，機械油，清洗溶劑等。如何在凹凸不平的集成電路微區里發現并鑒定有機化學品污染，提升器件良品率，已成為眾多科研工作者的研究課題。

傳統的傅里葉變換紅外光譜FTIR/QCL直是半導體器件污染的常用表征手段，但該技術在關鍵問題的表征上存在些局限性，例如空間分辨率(10-20 μm) 較差和對<10 μm的樣品測試靈敏度較低、堅硬的金屬界面可能會損壞ATR探針、以及污染出現在凹凸/狹隙內，使得ATR接觸式測量難以實現。所以，如何在亞微米分辨率別和非接觸條件下，實現芯片/半導體器件的有機缺陷和污染物的識別和表征是非常重要以及創新的種手段。

PSC (Photothermal Spectroscopy Corp. )公司研發的亞微米分辨紅外拉曼同步測量系統mIRage將*的光學光熱紅外(O-PTIR)技術與同步拉曼光譜技術相結合，直接解決了上述挑戰。該系統具有500 nm的亞微米紅外空間分辨率、非接觸無損測量、免樣品制備、高質量光譜(測試可兼容粒子形狀/尺寸和表面粗糙度)、商業數據庫檢索匹配等點，已廣泛應用于半導體/芯片器件的痕量有機污染分析。

在本次講座中，我們將以半導體污染物的分析檢測為例，深入探討傳統FTIR和mIRageTM O-PTIR顯微光譜技術的區別和點，并通過系列非常有挑戰性的樣品測試結果和分析來展示紅外+拉曼同步顯微光譜技術的*功能與勢, 希望對您的研究工作有所幫助。

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報告時間：

2021年11月24日 14:00

主講人：

趙經鵬 博士

趙經鵬，博士，畢業于法國國家科研中心，主要研究方向為高分子聚合物及納米材料物化性能表征等相關研究工作，在Quantum Design中國公司負責非接觸亞微米分辨紅外拉曼同步測量系統（mIRage）和臺式X射線精細結構吸收譜（easyXAFS）等相關產品的技術支持及市場拓展等工作。

技術線上論壇：

//qd-china.com/zh/n/2004111065734

相關產品：

1.mIRage 非接觸式亞微米分辨紅外拉曼同步測量系統